П. Б. Сергеев, А. Н. Кириченко, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов, Р. А. Хмельницкий
- Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
- Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, г. Троицк, Москва
Аннотация: Осуществлен синтез фторуглеродных (C : F) нанопленок толщиной до 60 нм на поверхности титановых образцов. Пленки были получены при отжиге на воздухе тонких слоев фторуглеродного масла (ФМ) на площади 0.6 см2 излучением KrF-лазера при плотностях энергии более 4 Дж/см2 в импульсах длительностью 80 нс. Прочность C : F-нанопокрытий оказалась сравнимой с прочностью титана и в сотни раз превышала показатели фторопласта Ф-4. Высокая прозрачность ФМ указывает на возможности его использования в качестве покровной жидкости при модификации поверхности титана излучением многих технологических лазеров.
Ключевые слова: синтез нанопленок, C : F-нанопленки, титан, фторуглеродное масло, KrF-лазер, лазерное излучение.
Поступила в редакцию: 18.08.2020
Исправленный вариант: 27.09.2020
Образец цитирования: П. Б. Сергеев, А. Н. Кириченко, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов, Р. А. Хмельницкий, “Синтез фторуглеродных нанопленок на титане с помощью излучения мощного KrF-лазера”, Квантовая электроника, 50:12 (2020), 1173–1178 [Quantum Electron., 50:12 (2020), 1173–1178]